超音波显微镜(SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的简称,又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope)。此检测为应用超音波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性来进行分析。
针对不同的样品将选用适合的探头,而德凯宜特拥有从低频率 15Mhz到高频率 230Mhz,甚至超音波频率等各式类型的探头。

检测模式分为
1. 脉冲回波(Pulse Echo Method)
  • A-scan (超音波讯号)
  • B-scan (2D反射式剖面检测 / 影像)
  • C-scan (2D反射式平面检测 / 影像)
          
2. 透射(Through Transmission Method)
  • Through-scan (穿透式检测 / 影像)


主要应用
対于组件封装及层迭结构设计的材料(如电路板PCB),利用SAT的超音波原理检测内部界面是否有脱层(delaminaiton)或裂缝(crack),目前约可以检测到0.13 μm的微小间隙(gap);SAT可应用在以下分析需求:
  • 组件/电路板PCB失效分析
  • 组件封装/电路板层迭结构质量验证
  • 制程参数验证(reflow heat damage)
  • 进料检验(IQC)或出货抽检(QC)


實際案例
 
<BGA封装 Substrate脱层>
  

<TSOP 封装 Die & Paddle & Lead 脱层>
 
<SAT T-Scan for bare PCB>

设备限制
SAT是利用超音波反射讯号来侦测异常点,故若表面粗糙或有气泡存在,将会影响到结果的判别,故下图这几种组件较无法利用SAT来进行分析。

 

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